আমরা সবাই জানি, পৃথিবীতে শুধুমাত্র একটি প্রস্তুতকারক আছে যেটি EUV লিথোগ্রাফি তৈরি করতে পারে, তা হলনেদারল্যান্ডসের এএসএমএল.
বিশ্বে শুধুমাত্র একটি নির্মাতার কারণ হল যে ASML অনেকগুলি মূল নির্মাতাকে একত্রে আবদ্ধ করেছে, যেমন Zeiss (Zeiss), একটি জার্মান অপটিক্স কোম্পানি, Cymer (USA) এবংTRUMPF (জার্মানি)।
এএসএমএল এই নির্মাতাদের বিনিয়োগ, অধিগ্রহণ, শেয়ারহোল্ডিং, গবেষণা কেন্দ্র প্রতিষ্ঠা ইত্যাদির মাধ্যমে তার রথে বেঁধেছে এবং এই নির্মাতারা সম্ভবত বিশ্বের একমাত্র নির্মাতা যারা এই পণ্যগুলি উত্পাদন করতে পারে, তাই শেষ পর্যন্ত বিশ্বে কেবলমাত্র এএসএমএলই পারে। EUV লিথোগ্রাফি উত্পাদন।
যাইহোক, সম্প্রতি, ASML-এর একটি কী সাপ্লাই চেইন, একটি কারখানা তৈরির জন্য চীনের শেনজেনে ছুটে গেছে, এর সেনজেন সহায়ক সংস্থা বাওন চীন-জার্মান (ইউরোপ) শিল্প প্রদর্শন পার্কে বসতি স্থাপন করেছে।
এই প্রস্তুতকারক জার্মানির TRUMPF গ্রুপ (TRUMPF), এটি ASML এর EUV লিথোগ্রাফি, বিশ্বের একমাত্র লেজার উৎস সরবরাহকারী।
EUV লিথোগ্রাফিতে TRUMPF পণ্য, কতটা গুরুত্বপূর্ণ? প্রথমে, আমাকে EUV লিথোগ্রাফির নীতি ব্যাখ্যা শুনুন, আপনি বুঝতে পারবেন।
EUV লিথোগ্রাফির নীতি, সহজভাবে বলতে গেলে, তিনটি প্রধান সিস্টেমকে কেন্দ্র করে, EUV অতিবেগুনী আলোর উত্স সিস্টেম, উদ্দেশ্য আয়না সিস্টেম এবং টেবিল সিস্টেম।
সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া হল একটি 13.5nm তরঙ্গদৈর্ঘ্যের চরম অতিবেগুনী আলোকে উত্তেজিত করার জন্য একটি লেজার ব্যবহার করা, যা তারপরে সংশোধন করে আলোর একটি নিয়ন্ত্রিত রশ্মি তৈরি করা হয়, যা একটি এক্সপোজার টেবিলের উপর একটি বস্তুনিষ্ঠ আয়নার মাধ্যমে প্রক্ষিপ্ত হওয়ার আগে একটি ফটোমাস্ক টেবিলের উপর প্রক্ষেপিত হয়। এবং অবশেষে ফটোরেসিস্ট দিয়ে প্রলিপ্ত একটি সিলিকন ওয়েফারের উপর একটি সার্কিটে খোদাই করা হয়।
কিভাবে একটি 30 কিলোওয়াট ক্ষমতার CO2 লেজারের সাহায্যে একটি টিন (Sn) ধাতব ফোঁটা বোমাবর্ষণ করে, এটিকে একটি প্লাজমাতে বাষ্পীভূত করে এবং অবশেষে 13.5 এনএম তরঙ্গদৈর্ঘ্যে EUV আলো প্রাপ্ত করার মাধ্যমে EUV UV আলোর উত্স সিস্টেমগুলির মধ্যে একটি পাওয়া যায়৷
এই 30 kW CO2 লেজার TRUMPF দ্বারা সরবরাহ করা হয়, বিশ্বের একমাত্র।
এই CO2 লেজারটিকে অবমূল্যায়ন করবেন না, এটির 457,329 অংশ রয়েছে, সিস্টেমে তারের দৈর্ঘ্য 7,322 মিটার পর্যন্ত, এবং ওজন 17,090 কেজি, যা EUV লিথোগ্রাফির সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ মূল উপাদানগুলির মধ্যে একটি।
এখন TRUMPF একটি কারখানা তৈরি করতে চীনে ছুটে গেছে, উদ্দেশ্যটি পরিষ্কার, যেটি চীনা লেজারের বাজার সম্পর্কে আশাবাদী, এবং এমনকি আরও দীর্ঘমেয়াদী দৃষ্টিভঙ্গি, চীনা লিথোগ্রাফি বাজার সম্পর্কে আশাবাদী, ভবিষ্যতে EUV লিথোগ্রাফি তৈরি করতে চীনের সাথে সহযোগিতা করতে পারে .
প্রকৃতপক্ষে, একটি কারখানা তৈরির জন্য ইতিমধ্যেই একাধিক ASML সাপ্লাই চেইন চীনে চলছে, সেখানে কেএমডব্লিউই এবং অন্যান্য নির্মাতারা রয়েছে, এছাড়াও একটি কারখানা তৈরি করতে চীনে রয়েছে।
বর্তমান প্রবণতা অনুযায়ী, আমরা আশাবাদীভাবে আশা করতে পারি যে এটি চীনের লিথোগ্রাফি প্রযুক্তির একটি বড় পদক্ষেপের আগে হতে পারে না, এবং এমনকি আউটপুট EUV লিথোগ্রাফির ভলিউমও অপেক্ষা করতে পারে, আপনি কি মনে করেন?
